工作在10-5Pa以上的超高真空機組有(you)(you)擴散泵、分子泵超高真空機(ji)組(zu)(zu)和無油(you)超高真空機(ji)組(zu)(zu).該(gai)機(ji)組(zu)(zu)有(you)(you)如下特點:

①主(zhu)泵極限真空度高，在10-7~10-8pa以上;

②能經受(shou)200~450℃的高溫(wen)烘烤;

③主泵(beng)返(fan)流氣體(ti)的分壓力(li)很低;

④對被抽(chou)氣體選(xuan)擇性強(qiang)的主泵，要(yao)配備足夠大的輔助泵;

⑤要求真(zhen)空(kong)室、管道、閥門等(deng)部件的材料(liao)出氣(qi)率很(hen)低(di)，漏氣(qi)率很(hen)小。

(1)擴(kuo)散泵超(chao)高(gao)真空機(ji)組

以擴(kuo)散泵為主泵的超高(gao)真空(kong)機組的極限(xian)真空(kong)度為10-7~10-8Pa。

為(wei)減少來(lai)自擴(kuo)(kuo)散(san)泵(beng)(beng)前級(ji)的(de)(de)氣體反擴(kuo)(kuo)散(san)和阻(zu)擋(dang)機(ji)械泵(beng)(beng)油的(de)(de)反擴(kuo)(kuo)散(san)對極限真空度的(de)(de)影(ying)響(xiang)，可在(zai)(zai)擴(kuo)(kuo)散(san)泵(beng)(beng)前級(ji)申聯一臺抽速小的(de)(de)擴(kuo)(kuo)散(san)泵(beng)(beng)，以降(jiang)低(di)壓縮(suo)比，減小反擴(kuo)(kuo)散(san)。如在(zai)(zai)擴(kuo)(kuo)散(san)泵(beng)(beng)進氣口上邊增(zeng)設鈦升華(hua)阱(jing)，可進一步降(jiang)低(di)來(lai)自擴(kuo)(kuo)散(san)泵(beng)(beng)的(de)(de)氮氣分壓力，能獲得10-11Pa的(de)(de)超高真空。

(2)分子泵超(chao)高真(zhen)空機組

以分子(zi)泵(beng)為(wei)主泵(beng)的(de)超高真空機組其(qi)極(ji)限真空度為(wei)10-8Pa，特點是(shi)啟動(dong)快，油的(de)污染(ran)小。

在機組內增(zeng)加液氮冷(leng)阱(jing)，可(ke)以增(zeng)大抽速。機械泵出口處設有(you)水冷(leng)阱(jing)，可(ke)以防止油(you)蒸氣(qi)進入系統。

(3)無油超高真空機組

不用(yong)油做工作液和不用(yong)有(you)(you)(you)機(ji)材料密封的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)機(ji)組(zu)稱為(wei)無油超高真(zhen)(zhen)空(kong)機(ji)組(zu)。常用(yong)的(de)主泵有(you)(you)(you)低(di)溫泵、鈦泵、濺射(she)離子泵等，可得到極(ji)限真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)10-7~10-8Pa。與有(you)(you)(you)油真(zhen)(zhen)空(kong)機(ji)組(zu)比較，它有(you)(you)(you)如下優(you)點:

①可獲得清(qing)潔真空、無污染源;

②當(dang)無油真空泵(beng)啟動后(hou)，即(ji)可(ke)隔離(li)預抽泵(beng);

③如突然抽氣停止，不會污(wu)染系統;

④無油、無聲、無振(zhen)動，改善了(le)工作環境;

⑤極限(xian)真空度高，抽速(su)大(da)，抽氣時(shi)間短。